無塵室潔凈度之維持和控制，除了硬設備之配合投資外，也需要良好的軟件——管理制度來搭配，方能維持良好的潔凈度；無塵室運轉管理，可依作業人員、原物料、設備及無塵室內所用東西等加以探討；無塵室內系統除了通稱的空調系統之外，制程設備也包括在內，本節將對該二系統之運轉維護及保養做一概略說明。

一、污染源控制


無塵室潔凈度之維持和控制，除了硬設備之配合投資外，也需要良好的軟件——管理制度來搭配，方能維持良好的潔凈度。無塵室內之微污染來源，經測試分析結果，作業人員占約80%。


     無塵室的污染源可分為外污染及內污染源。外污染源主要包括空調送風、間隙滲入、建筑物、工作服、風管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內污染源則包括制程設備、工作人員、工具、加工制程、隔間材料、工作桌、包裝材料等。


     對硅芯片而言，微塵粒子之附著將造成集成電路線路的變形或短路，使芯片失去運作功能，因此微污染源的控制已成為無塵室管理的重要環節。表一為自然環境所測得的塵埃濃度，可為設計參考，而在微污染控制，其基本原則有四：


1.外部塵埃侵入之防止：無塵室運轉與維護管理


無塵室適當之正壓保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設備、原材料搬入無塵室前先做好清潔擦拭等防塵動作，空氣過濾器適當的管理和設置。


2.室內發塵之防止：無塵室運轉與維護管理


隔間板、地板等無塵室材料的適當選用、制程設備的發塵抑制、生產自動化及人員不聚集、動作放松、潔凈衣的管理、使用無塵室專用器等。


3.室內發塵之不積留：


墻壁體應光滑無死角、無塵室需定期保養和清掃、制程設備四周應留有空間。


4.發生塵埃之排除：


換氣次數應足夠，適當的空間布置以及污染源接排氣和空調的氣流速度須適當。


人、物入室的管理問題、實際的作業條件和工程管理關聯之問題、室內之空調及清掃關系之問題，這些問題將于下節祥述。無塵室運轉與維護管理